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CMP過(guò)濾解決方案

 

化學(xué)機械平面化(CMP)是用于制造半導體工業(yè)晶圓的拋光工藝,是半導體器件制造工藝中的一種技術(shù),使用化學(xué)腐蝕及機械力對加工過(guò)程中的硅晶圓或其它襯底材料進(jìn)行平坦化處理?;瘜W(xué)機械拋光解決方案改進(jìn)了創(chuàng )建多層半導體電路的過(guò)程。其中進(jìn)行化學(xué)研磨的漿料我們一般稱(chēng)為研磨液slurry,由于化學(xué)不穩定性和處理步驟等問(wèn)題,一般在研磨液slurry中會(huì )緩慢形成凝膠和附聚物,這些形成的大顆粒被輸送到晶圓的表面,會(huì )導致晶圓表面微劃痕等缺陷,從而導致晶圓產(chǎn)量重大損失,所以CMP過(guò)濾需要在不影響拋光性能的情況下去除導致大顆粒和團聚的缺陷至關(guān)重要。其輸送系統見(jiàn)下:

CMP slurry輸送系統

CMP slurry輸送系統

 

CMP過(guò)濾產(chǎn)品

位點(diǎn) 邁博瑞推薦濾芯系列*
①粗過(guò)濾 MicroPure Classic 系列 PP熔噴濾芯
AquaPure 系列 線(xiàn)繞濾芯
PolyPure-Classic系列(PPC系列)高通量、高流速的PP折疊濾芯
②精過(guò)濾 CMPro-D系列 CMP專(zhuān)用高精度PP深層濾芯
CMPro-M系列 CMP專(zhuān)用高通量PP深層濾芯
CMPro-P系列 CMP專(zhuān)用聚丙烯深層折疊濾芯
③終端過(guò)濾 PoliCap終端(POU)緊湊型  CMP囊式濾芯
PoliCap-Plus終端(POU)  CMP囊式濾芯

*詳細的技術(shù)解決方案和產(chǎn)品系列信息,請聯(lián)系您身邊的MS銷(xiāo)售工程師

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