微電子行業(yè)濾芯

Clean-Nova系列-半導(dǎo)體Clean制程用HDPE外殼的(PES)折疊過濾濾芯

邁博瑞Clean-Nova系列濾芯是一款具有高流速,長(zhǎng)使用壽命等特點(diǎn),專為電子工業(yè)中稀酸,稀堿和超純水過濾設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。在室溫環(huán)境下使用時(shí),PES過濾器可以兼容各種濕法蝕刻和清洗溶液。

產(chǎn)品描述

邁博瑞Clean-Nova系列濾芯是一款具有高流速,長(zhǎng)使用壽命等特點(diǎn),專為電子工業(yè)中稀酸,稀堿和超純水過濾設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。在室溫環(huán)境下使用時(shí),PES過濾器可以兼容各種濕法蝕刻和清洗溶液。

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 優(yōu)秀的流量性能和長(zhǎng)使用壽命

  • 縮短設(shè)備預(yù)操作時(shí)間

  • 優(yōu)秀的攔截效率

  • 極低的金屬溶出

  • 100%濾芯完整性檢測(cè)

典型應(yīng)用

產(chǎn)品保證

工作特性

材 料 濾膜 聚醚砜
支撐層,外殼 HDPE
密封圈 筒式 EPDM/TEV
外殼 一體式 PFA
精度 5nm, 10nm, 20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm
膜面積 SX (φ68mm) 0.8 m²/10
MX (φ81mm) 1.2 m²/10”
MY (φ81mm) 1.8 m²/10”
最大使用條件 最大正向壓差 0.34 MPa (49 psi) @ 25 ℃ (77 °F)
0.3 MPa (43 psi) @ 40 ℃ (104 °F)
最大反向壓差 0.3 MPa (43 psi) @ 25 ℃ (77 °F)
最高使用溫度 40 ℃ (104 °F)
包裝方式 干包裝;超純水預(yù)潤(rùn)濕包裝

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品尺寸

流量-壓差曲線圖

壓差曲線

訂購信息

CNC

精度

直徑

端蓋

長(zhǎng)度

密封圈

金屬潔凈度

包裝方式

F (5nm)

E (10nm)

A (20nm)

C (30nm)

G (50nm)

B (0.1μm)

SX (φ68mm,0.8m2 )

MX(φ81mm,1.2m2 )

MY(φ81mm,1.8m2 )

N(222 平頭)

04 (4”)

10 (10”)

20 (20”)

P (三元乙丙)

T (特氟龍氟橡膠)

U(<3ug/device)

Q(<10ug/device)

R(<25ug/device)

D (干包裝)

W (超純水預(yù)潤(rùn)濕包裝)

下載資料