光刻膠用濾芯

Photo-Novel系列-專為光刻膠，有機(jī)溶劑等工藝中的尼龍（Nylon）折疊濾芯

邁博瑞Photo-Novel系列Nylon濾芯具有高流速，高攔截效率和高有機(jī)潔凈度等特性。它是一款專為光刻膠，有機(jī)溶劑等SEMI光刻工藝中的過(guò)濾而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。 在Photo-Novel系列中使用的Nylon膜是天然的親水尼龍材料。其本身具備低金屬析出和低顆粒脫落性能，并且在有機(jī)溶劑中的有機(jī)物溶出量非常低。

產(chǎn)品描述

邁博瑞Photo-Novel系列Nylon濾芯具有高流速，高攔截效率和高有機(jī)潔凈度等特性。它是一款專為光刻膠，有機(jī)溶劑等SEMI光刻工藝中的過(guò)濾而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。

在Photo-Novel系列中使用的Nylon膜是天然的親水尼龍材料。其本身具備低金屬析出和低顆粒脫落性能，并且在有機(jī)溶劑中的有機(jī)物溶出量非常低。

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 高過(guò)濾效率

  • 天然親水性能

  • 優(yōu)秀的有機(jī)溶出潔凈度

  • 在潔凈車間中生產(chǎn)完成

  • 100%濾芯完整性檢測(cè)

典型應(yīng)用

產(chǎn)品保證

工作特性

材 料 濾膜 Nylon 66
支撐層，外殼 HDPE/PP
密封圈 EPDM/TEV
精度 2nm, 5nm, 10nm, 20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm
膜面積 SX (φ68mm) 0.7m²/10"
SY (φ68mm) 1.3m²/10"
最大使用條件 最大正向壓差 0.34 MPa (49 psi) @ 25℃ (77 °F)
最大反向壓差 0.24 MPa (34 psi) @ 25℃ (77 °F)
最高使用溫度 40℃ (104 °F)
包裝方式 干包裝；超純水預(yù)潤(rùn)濕包裝

產(chǎn)品尺寸

尺寸

流量-壓差曲線圖

壓差

訂購(gòu)信息

PNC

 支撐層

精度

直徑

端蓋

長(zhǎng)度

密封圈

金屬潔凈度

包裝方式

/（HDPE）

P（PP）

T（2nm）

F（5nm）

E (10nm)

A (20nm)

C (30nm)

G (50nm)

B (0.1μm)

SX（φ68mm,0.7m2）

SY（φ68mm,1.3m2）

N(222 平頭)

04 (4”)

10 (10”)

20 (20”)

P (EPDM)

T (TEV)

U（＜3ug/device）

R（＜25ug/device）

D (干包裝)

W (超純水預(yù)潤(rùn)濕包裝)

下載資料

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