Wet-Vast系列-半導(dǎo)體Wet濕制程用HDPE外殼的(PTFE)折疊過(guò)濾濾芯

Wet-Vast系列濾芯采用了PTFE濾膜搭配HDPE支撐材料。PTFE和HDPE材料均具有良好的化學(xué)兼容性,使其可以適合于多種藥液的應(yīng)用,能夠有效地去除半導(dǎo)體工業(yè)用高純度化學(xué)品中的微粒。有多種精度和孔徑的濾芯方案可供選擇,以滿足客戶的要求。

產(chǎn)品描述

Wet-Vast系列濾芯采用了PTFE濾膜搭配HDPE支撐材料。PTFE和HDPE材料均具有良好的化學(xué)兼容性,使其可以適合于多種藥液的應(yīng)用,能夠有效地去除半導(dǎo)體工業(yè)用高純度化學(xué)品中的微粒。有多種精度和孔徑的濾芯方案可供選擇,以滿足客戶的要求。

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 濕刻蝕和清洗

  • 適合是多種類的化學(xué)品過(guò)濾

  • 高流速,低壓差,更長(zhǎng)使用壽命

  • 便捷的預(yù)濕選項(xiàng)

  • 100%濾芯完整性檢測(cè)

典型應(yīng)用

產(chǎn)品保證

工作特性

材 料 濾膜 PTFE
支撐層,外殼 HDPE
密封圈 EPDM/TEV
精度 20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm, 0.2μm
膜面積 SX (φ68mm) 1.2 m2/10”
MX (φ81mm) 1.8 m2/10”
MY (φ81mm) 2.2 m2/10”
MZ (φ81mm) 2.8 m2/10”
最大使用條件 最大正向壓差 0.4 MPa (58 psi) @ 25℃ (77 °F)
最大反向壓差 0.3 MPa (43 psi) @ 25℃ (77 °F)
最高使用溫度 40℃ (104 °F)
包裝方式 干包裝;超純水預(yù)潤(rùn)濕包裝

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品尺寸

流量-壓差曲線

壓差曲線

訂購(gòu)信息

WVC

精度

直徑

端蓋

長(zhǎng)度

密封圈

金屬潔凈度

包裝方式

 

A (20nm)

C (30nm)

G (50nm)

B (0.1μm)

J(0.2μm)

SX(φ68mm,0.9m2

MX(φ81mm,1.8m2

MY(φ81mm,2.2m2

MZ(φ81mm,2.8m2

N(222 平頭)

04 (4”)

10 (10”)

20 (20”)

P(EPDM)

T (TEV)

Q(<10ug/device)

R(<25ug/device)

E(Electronic)

D (干包裝)

W (超純水預(yù)潤(rùn)濕包裝)

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